System zur druckgepulsten chemischen Gasphasenabscheidung

GM 20 2012 008 591.3 – C23C 16/52. AT 07.09.2012; ET 11.12.2012; PT 31.01.2013. Anm.: Furkert, Suzanne Alice, Christchurch, NZ; Pran Krumdieck, Susan, Christchurch, NZ; The University of Canterbury, Christchurch, NZ.