Verfahren zur Behandlung einer Oberfläche
Beschreibung: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Behandlung einer Oberfläche, bei dem aus einem Arbeitsgas ein Plasmastrahl oder aus einem Brenngas ein Flammstrahl erzeugt wird, mit dem die Oberfläche bestrichen wird, wobei die Behandlung der Oberfläche bei Atmosphärendruck erfolgt, wobei mittels eines Spektrometers optische Emissionen des Plasmastrahls oder Flammstrahls oder der Oberfläche gemessen werden, anhand deren Charakteristika des Plasmastrahls oder Flammstrahls ermittelt werden.
PS 10 2009 042 103.3 – C23C 16/52. AT 21.09.2009; OT 24.03.2011; PT 31.01.2013. Anm.: Innovent e.V., 07745 Jena, DE; PLASUS Ingenieurbüro Dr. Thomas Schütte, 86438 Kissing, DE; SURA Instruments GmbH, 07745 Jena, DE. Erf.: Horn, Kerstin, Dr., 07749 Jena, DE, Schütte, Thomas, Dr., 86438 Kissing, DE, Tiller, Christian, Dipl.-Kfm., 07749 Jena, DE, Grünler, Bernd, Dr., 07937 Zeulenroda, DE.