Beschichtete Körper aus Metall, Hartmetall, Cermet, Keramik oder Halbleiterwerkstoff sowie Verfahren zur Beschichtung derartiger Körper
PS 10 2009 028 577.6 – C23C 30/00. AT 17.08.2009; OT 03.03.2011; PT 16.02.2012. Anm.: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 München, DE. Erf.: Mandy, Dr. Höhn, 01277 Dresden, DE, Ingolf, Dr. Endler, 01640 Coswig, DE.