Vorrichtung-und-Verfahren-zum-Beschichten-eines-Substrats

WP 50 2011 007 125.6 - C23C 16/04. AT 21.10.2011; OT 26.04.2012; PT 17.06.2015. Anm.: Bühler Alzenau GmbH, 63755 Alzenau, DE. Erf.: Ellrich, Jens, 65201 Wiesbaden, DE; Novak, Emmerich, Manfred, 14797 Kloster Lehnin, AT; Caspari, Andreas, 66606 Wendel, DE.