Beschichtungsquelle und Verfahren zu deren Herstellung

EP 50 2011 007 018.7 - C23C 14/32. AT 12.04.2011; OT 16.07.2014; PT 03.06.2015. Anm.: Plansee SE, Reutte, AT. Erf.: Polcik, Peter, 6600 Reutte, AT; Polzer, Conrad Wilhelm, 71384 Weinstadt, DE; Perl, Matthias, 6675 Tannheim, AT; Schlichtherle, Stefan, 6632 Ehrwald, AT Strauss, Georg, 6232 Münster, AT.

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