Struktur zur Bildung einer Oberflächenbeschichtung

EP 60 2014 005 450.1 - C23C 24/00. AT 09.10.2014; OT 15.04.2015; PT 14.12.2016. Anm.: Ibiden Co., Ltd., Ogaki-shi, Gifu-ken, JP. Erf.: Mutsuda, Fumiyuki, Gifu, 501-0695, JP Fujita, Yoshitaka, Gifu, 501-0695, JP.

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