Verfahren und Vorrichtung zur Regelung der Dicke einer Beschichtung auf einem in seiner Längsrichtung bewegten Band

EP 50 2004 015 163.9 - C23C 14/54. AT 26.04.2004; OT 02.11.2005; PT 13.04.2016. Anm.: Applied Materials GmbH & Co. KG, 63755 Alzenau, DE. Erf.: Lotz, Hans-Georg, 63584 Gründau-Rothenbergen, DE Sauer, Peter, 36381 Schlüchtern, DE Steiniger, Gerhard, 63549 Ronneburg, DE Hoffmann, Gerd, 63486 Bruchköbel, DE Ludwig, Rainer, 63768 Hösbach, DE