Eine Vorrichtung zum Dünnfilm-Abscheiden

PS 10 2012 209 244.7 – C23C 16/455. AT 31.05.2012; OT 13.12.2012; PT 30.04.2015. Anm.: ASM Technology Singapore Pte Ltd., Singapur/Singapore, SG. Erf.: Li, Zilan, Singapore, SG, Kuah, Teng Hock, Singapore, SG, Ding, Jiapei, Singapore, SG, Raghavendra, Ravindra, Singapore, SG.