Beschichtungsverfahren
Die Erfindung beschreibt ein Beschichtungsverfahren, bei dem auf einem ebenen, metallischen Substrat, das von einem Substrathalter gehaltert ist, aus der Gasphase eine metallische Schicht aus Partikel unter vermindertem Druck niedergeschlagen wird, wobei die Partikel mit zumindest einer Energiequelle aus zumindest einem, eine Verdampfungsquelle bildenden Behälter verdampft werden. Die metallische Schicht wird aus mehreren Einzelschichten sequenziell aufgebaut.
PS 10 2006 031 783.1 – C23C 14/14. AT 10.07.2006; OT 18.01.2007; PT 05.03.2015. Anm.: Miba Gleitlager GmbH, Laakirchen, AT. Erf.: Eitzinger, Günter, Timelkam, AT