Verfahren zur Herstellung eines wärmedämmenden, hoch transparenten Schichtsystems und mit diesem Verfahren hergestelltes Schichtsystem

EP 50 2008 007 089.3 – C23C 14/35. AT 14.03.2008; OT 01.10.2008; PT 02.05.2012. Anm.: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 München, DE. Erf.: Szyszka, Bernd, Dr., 38108 Braunschweig, DE, Boentoro, Tjhay-Weyna, 38106 Braunschweig, DE, Ulrich, Stephan, Dr., 38106 Braunschweig, DE, Pflug, Andreas, Dipl.-Phys., 38124 Braunschweig, DE, Graf, Roman, Dr., 4600 Olten, CH.

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