Vorrichtung und Verfahren zur schnellen Abscheidung von Rutil-Titandioxid

WP 60 2004 037 045.2 – C23C 14/34. AT 07.10.2004; OT 21.04.2005; PT 21.03.2012. Anm.: Deposition Sciences, Inc., Santa Rosa, US. Erf.: BOLING, Norman, Santa Rosa, CA 95409, US, Krisl, Eric, Santa Rosa, CA 95409, US, Rains, Miles, Santa Rosa, CA 95403, US, George, Mark, Santa Rosa, CA 95404, US, Gray, Rober, H., Sebastopol, CA 95472, US.