Homogenisator für der Beschichtung von Oberflächen dienende Gasströme

Beschreibung: Die Erfindung betrifft einen Homogenisator für die Beschichtung von Oberflächen dienende Gasströme, dem auf einer Einströmseite ein Gasstrom oder Komponenten eines Gasstromes aus mindestens einer Zuleitung oder einem Brenner oder einer Gasverteilungseinheit zuführbar ist oder sind und der eine schlitzförmige Ausströmöffnung aufweist, die auf ihren Längsseiten von zwei einander gegenüberliegenden Führungsplatten oder Folgen von Führungsplattensegmenten und auf ihren Querseiten von zwei einander gegenüberliegenden Seitenführungsplatten begrenzt ist, wobei die Führungsplatten oder Führungsplattensegmente und Seitenführungsplatten zumindest einen Teil eines Raumes umschließen, dessen Querschnittsfläche sich von der Einströmseite zur Ausströmöffung hin verjüngt.

PS 10 2006 043 543.5 – C23C 16/455. AT 12.09.2006; OT 27.03.2008; PT 10.05.2012. Anm.: Innovent e.V., 07745 Jena, DE. Erf.: Maik Staude, 07768 Kahla, DE, Andreas, Dr. Heft, 07545 Gera, DE, Gerhardt Krippl, 07646 Stadtroda, DE, Bernd, Dr. Grünler, 07937 Zeulenroda, DE, Arnd, Dr. Schimanski, 44329 Dortmund, DE, Hans-Jürgen, Prof. Dr. Tiller, 07749 Jena, DE.

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