Kohlenstoffhaltiger dünner Film, Herstellungsverfahren dafür und Element unter Verwendung des dünnen Films

EP 60 2005 050 350.1 - C23C 14/58. AT 25.02.2005; OT 09.09.2005; PT 05.10.2016. Anm.: Japan Science and Technology Agency, Kawaguchi-shi, Saitama, JP. Erf.: Iwamura, Eiji, Kobe-shi,Hyogo 651-2276, JP

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