Verfahren zur Herstellung dünner, dichter Keramikschichten

WP 50 2005 012 762.5 – C23C 4/02. AT 04.08.2005; OT 23.03.2006; PT 30.05.2012. Anm.: Forschungszentrum Jülich GmbH, 52428 Jülich, DE. Erf.: Stöver, Detlev, 52382 Nierderzier, DE, Vassen, Robert, 52134 Herzogenrath, DE, Hathiramani, Dag, 17489 Greifswald, DE.

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