Verfahren zur Bildung gemischter Seltenerdaluminate durch Atomlagenabscheidung

WP 60 2007 038 586.5 – C23C 16/509. AT 27.03.2007; OT 18.10.2007; PT 17.09.2014. Anm.: Tokyo Electron Ltd (TEL), Tokyo, JP. Erf.: Clark, Robert D., Schenectady, New York 12306, US.