Plasma-Dünnfilmabscheidungsvorrichtung

WP 60 2004 039 237.5 – C23C 16/50. AT 19.11.2004; OT 02.06.2005; PT 05.09.2012. Anm.: Apit Corp. SA, Sion, CH. Erf.: Koulik, Pavel, F-67113 Blaesheim, FR, Krapivinia, Svetlana, F-196620 Saint Petersbourg, FR, Musin, Nail, F-67400 Illkirch-Graffenstaden, FR, Saitchenko, Anatoli, F-67400 Illkirch-Graffenstaden, FR, Zorina, Evguenia, F-67113 Blaesheim, FR.