Vorrichtung zur Plasmabeschichtung von länglichen, zylindrischen Bauteilen

EP 50 2007 010 526.0 – C23C 14/56. AT 26.07.2007; OT 06.02.2008; PT 12.09.2012. Anm.: Dr. Laure Plasmatechnologie GmbH, 70329 Stuttgart, DE. Erf.: Laure, Stefan, Dr., 70329 Stuttgart, DE.