Vorrichtung zur kontinuierlichen Beschichtung
Eine Vorrichtung zur kontinuierlichen Beschichtung gemäß der vorliegenden Erfindung hat eine Vakuumkammer mit einem geteilten Aufbau, wobei die Vakuumkammer einen festen Kammerabschnitt, in dem eine Beschichtungswalze, eine Abwickelwalze und eine Aufwickelwalze angeordnet sind, und einen beweglichen Kammerabschnitt hat, in dem Kathodeneinheiten angeordnet sind. Das Innere der Vakuumkammer ist durch eine Trennwand in eine Walzenkammer und eine Beschichtungskammer getrennt. Der feste Kammerabschnitt und der bewegliche Kammerabschnitt sind durch Teilen der Vakuumkammer entlang einer Teilungsebene, die durch Seitenendabschnitte von vorderen und hinteren Endwänden der Vakuumkammer verläuft, ausgebildet. Durch Öffnen oder Schließen des beweglichen Kammerabschnitts sind geteilte Enden des festen Kammerabschnitts und des beweglichen Kammerabschnitts durch ein Dichtelement in Angrenzung gegeneinander bringbar oder von der Angrenzung zueinander lösbar. Die Vorrichtung zur kontinuierlichen Beschichtung der vorliegenden Erfindung ist in der Eignung zur Durchführung von Arbeiten und Wartungsfähigkeit überlegen, erfordert wenig Einbauraum, und bei diesem gleitet ein Endabschnitt der Trennwand nicht in Bezug auf das Dichtelement.
PS 10 2005 042 762.6 - C23C 14/56. AT 08.09.2005; OT 06.04.2006; PT 20.10.2016. Anm.: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho, Kobe-shi, Hyogo, JP. Erf.: Segawa, Toshiki, Takasago-shi, Hyogo, JP