Poliervorrichtung

Beschreibung: Eine Poliervorrichtung zum Polieren einer Oberfläche eines Werkstücks. Die Poliervorrichtung weist folgendes auf: eine Gehäuseeinheit, eine Unterteilungswand, welche das Innere der Gehäuseeinheit, die mindestens eine erste Kammer und eine zweite Kammer unterteilt. Ein Polierabschnitt ist angeordnet in der ersten Kammer und mit einem Drehtisch, mit einem Poliertuch, welches an der Oberseite des Drehtischs angebracht ist, und mit einem weiteren Element insbesondere einen oberen Ring positioniert oberhalb des Drehtischs, um das Werkstück zu tragen, welches poliert werden soll. Dabei wird das Werkstück gegen das Poliertuch gedrückt und es ist ein ferner ein Reinigungsabschnitt vorgesehen, und zwar insbesondere angeordnet in einer zweiten Kammer und zwar zum Reinigen des polierten Werkstücks. Die Poliervorrichtung weist ferner eine Poliervorrichtung auf, um das Werkstück, welches poliert wurde von dem Polierabschnitt zu dem Reinigungsabschnitt zu transferieren. Dazu ist insbesondere eine Öffnung vorgesehen und ein Aufsatzglied ist ferner um Umgebungsluft von sowohl dem Polierabschnitt als auch dem Reinigungsabschnitt gesondert unabhängig abzugeben.

PS 195 44 328.4 – B24B 29/02. AT 28.11.1995; OT 30.05.1996; PT 20.03.2014. Anm.: Ebara Corp., Tokio/Tokyo, JP; Kabushiki Kaisha Toshiba, Kawasaki, JP. Erf.: Nishi, Toyomi, Yokohama, JP , Togawa, Tetsuji, Fujisawa, JP, Saito, Harumitsu, Yokohama, JP, Tsujimura, Manabu, Yokohama, JP, Yajima, Hiromi, Yokohama, JP, Himukai, Kazuaki, Chigasaki, JP, Kodama, Shoichi, Tokio/Tokyo, JP, Imoto, Yukio, Zama, JP, Aoki, Riichiro, Tokio/Tokyo, JP, Watase, Masako, Yokohama, JP, Shigeta, Atsushi, Fujisawa, JP, Mishima, Shiro, Yokkaichi, JP, Kouno, Gisuke, Oita, JP.