Chemisch-mechanisches Polierkissen mit integriertem Identifizierungsmerkmal
EP 60 2009 009 637.0 – B24B 7/22. AT 13.03.2009; OT 21.04.2010; PT 12.09.2012. Anm.: Rohm and Haas Electronic Materials CMP Holdings, Inc., Newark, US. Erf.: Kulp, Mary Jo, Newark, DE 19711, US, String, Darrell, Havre de Grace, MD 21078, US.