Polierscheibe mit Mikroporenregionen

WP 60 2005 037 236.9 – B24B 37/00. AT 31.08.2005; OT 20.09.2007; PT 28.11.2012. Anm.: Cabot Microelectronics Corporation, Aurora, US. Erf.: Prasad, Abaneshwar, Aurora, IL 60504, US.

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