Härte von metallischen Schichten

Die Härte von metallischen Schichten wird in der Regel durch Eindringprüfung nach Vickers bestimmt. Dabei ist zu berücksichtigen, dass die für die Vickersprüfung geltenden Rahmenbedingungen für den erzeugten Eindruck eingehalten werden; im Falle von Schichten gilt, dass die Dicke etwa 4 bis 5 mal dem Wert der Tiefe des Eindrucks entsprechen muss. Dies wird einmal dadurch erreicht, dass mit sehr kleinen Vickersdiamanten und mit sehr kleinen Auflagekräften gemessen wird. Schichten von etwa 20 µm und höher können dann durch Eindruck in die Außenfläche der Schicht bestimmt werden. Bei kleineren Schichtdicken muss ein Querschliff angefertigt und der Eindruck in die Schnittfläche des Querschliffs vorgenommen werden. Zu beachten ist unter anderem auch die DIN EN ISO 14577 zu Messung der Schichthärte. Messgeräte für die Härtebestimmung von Schichten vom Nanometer bis in den Mikrometerbereich werden unter anderem von Helmut Fischer angeboten. Die Systeme erlauben neben der Schichthärte auch die Bestimmung des Eindringmoduls sowie elastischer Kenngrößen.

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