Verfahren für die strahlinduzierte Ablagerung bei kryogenen Temperaturen

EP 60 2011 009 012.7 – C23C 16/26. AT 29.06.2011; OT 04.01.2012; PT 13.08.2014. Anm.: FEI Co., Hillsboro, Oreg., US. Erf.: Trompenaars, Piet, 5038 PK Tilburg, NL, Mulders, Hans, 5632 SB Eindhoven, NL.