Verfahren und Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Werkstücken_1

WP 503 15 347.8 - C23C 16/04. AT 09.05.2003; OT 04.12.2003; PT 30.09.2015. Anm.: KHS Corpoplast GmbH, 22145 Hamburg, DE. Erf.: Litzenberg, Michael, 21502 Geesthacht, DE Lewin, Frank, 22889 Tangstedt, DE Müller, Hartwig, 22952 Lütjensee, DE Vogel, Klaus, 22885 Barsbüttel, DE Arnold, Gregor, 55294 Bodenheim, DE Behle, Stephan, 55239 Gau-Odernheim, DE Lüttringhaus-Henkel, Andreas, 64289 Darmstadt, DE Bicker, Matthias, 55126 Mainz, DE Klein, Jürgen, 55127 Mainz, DE