Verfahren und Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Werkstücken

WP 503 15 008.8 – C23C 16/54. AT 09.05.2003; OT 04.12.2003; PT 26.03.2014. Anm.: KHS Corpoplast GmbH, 22145 Hamburg, DE. Erf.: Lewin, Frank, 22889 Tangstedt, DE, Klein, Jürgen, 55127 Mainz, DE, Arnold, Gregor, 55294 Bodenheim, DE, Müller, Hartwig, 22952 Lütjensee, DE, Behle, Stephan, 55239 Gau-Odernheim, DE, Vogel, Klaus, 22885 Barsbüttel, DE, Bicker, Matthias, 55126 Mainz, DE, Lüttringhaus-Henkel, Andreas, 64289 Darmstadt, DE, Litzenberg, Michael, 21502 Geesthacht, DE.