Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von metallischen Rückkontakten für waferbasierte Solarzellen

PS 10 2010 009 795.0 – C23C 14/54. AT 01.03.2010; OT 01.09.2011; PT 15.05.2014. Anm.: VON ARDENNE Anlagentechnik GmbH, 01324 Dresden, DE. Erf.: Faber, Jörg, Dr., 01809 Müglitztal, DE, Reinhold, Ekkehart, 01465 Langebrück, DE.