Verfahren zur Beschichtung einer metallischen Substratoberfläche mit einer durch einen ALD-Prozess aufgebrachten Materialschicht

Beschreibung: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Beschichtung einer metallischen Substratoberfläche mit einer durch einen ALD-Prozess aufgebrachten Materialschicht. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass die zu beschichtende metallische Substratoberfläche vor dem Aufbringen der Materialschicht einer mindestens zweistufigen Plasma-Vorbehandlung unterzogen wird, wobei in einer ersten Stufe der zweistufigen Plasma-Vorbehandlung eine Reduktion der Substratoberfläche mit einem reduzierenden Plasma und anschließend in einer zweiten Stufe eine Oxidation der zu beschichtenden Substratoberfläche mit einem oxidierenden Plasma durchgeführt wird.

PS 10 2009 053 889.5 – C23C 16/02. AT 20.11.2009; OT 26.05.2011; PT 27.03.2014. Anm.: C. Hafner GmbH + Co. KG, 75173 Pforzheim, DE. Erf.: Duss, Martin, 75173 Pforzheim, DE, Schöttle, Marco, 75173 Pforzheim, DE.