Plasmagenerator

Beschreibung: Es wird ein Plasmagenerator zur plasmagestützten Beschichtung eines rohrförmigen Bauteils mit einer Induktionsspule zur Erzeugung eines hochfrequenten Wechselfeldes vorgeschlagen. Koaxial zum rohrförmigen Bauteil ist ein das Bauteil umgebendes Schutzrohr vorgesehen. An den beiden offenen Enden des Schutzrohrs sind Flansche zum Verschließen des Schutzrohrs angeordnet. Die Induktionsspule umgibt das Schutzrohr zumindest abschnittsweise.

PS 199 59 845.2 – C23C 16/513. AT 10.12.1999; OT 27.07.2000; PT 29.11.2012. Anm.: Laure, Stefan, Dr., 70329 Stuttgart, DE. Erf.: Erfinder ist Anmelder.