Vorrichtung und Verfahren zum Beschichten eines Substrates

WP 50 2010 012 574.4 - C23C 14/34. AT 19.11.2010; OT 26.05.2011; PT 12.10.2016. Anm.: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 München, DE; Singulus Technologies AG, 63796 Kahl, DE. Erf.: Schöpka, Ulrich, 91052 Erlangen, DE Öchsner, Richard, 90449 Nürnberg, DE Pfeffer, Markus, 90409 Nürnberg, DE Maaß, Wolfram, 63589 Linsengericht, DE Langer, Jürgen, 63075 Offenbach am Mai, DE Ocker, Berthold, 63454 Hanau, DE