Mehrschichtiges Polierkissenmaterial für chemisch-mehanisches Polieren

WP 60 2006 050 488.8 - B24B 37/20. AT 19.04.2006; OT 02.11.2006; PT 05.10.2016. Anm.: Cabot Microelectronics Corporation, Aurora, Ill., US. Erf.: Prasad, Abaneshwar c/o Legal Department, 870 North Commons Drive Aurora, IL 60504, US Lacy, Michael c/o Legal Department, 870 North Commons Drive Aurora, IL 60504, US