Aus einem leitfähigen Gleitfilm geformtes Element

WP 60 2011 027 972.6 - C23C 14/06. AT 06.05.2011; OT 10.11.2011; PT 06.07.2016. Anm.: Nikon Corporation, Tokyo, JP. Erf.: Taki, Yusuke, Tokyo 100-8331, JP