Verfahren zur stabilen reaktiven Abscheidung von Oxiden von einer Rohrmagnetronanordnung in Vakuumbeschichtungsanlagen und Anordnung zur Durchführung des Verfahrens

PS 10 2011 075 851.8 – C23C 14/54. AT 13.05.2011; OT 15.11.2012; PT 04.07.2013. Anm.: VON ARDENNE Anlagentechnik GmbH, 01324 Dresden, DE. Erf.: Neidhardt, Jörg, Dr., 01097 Dresden, DE.

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