Verfahren und Vorrichtung zum Aufbringen oder Einbetten von Partikeln auf oder in eine durch Plasmabeschichtung aufgebrachte Schicht

WP 50 2009 005 684.2 – C23C 28/00. AT 09.10.2009; OT 15.09.2011; PT 12.12.2012. Anm.: BAM Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung, 12205 Berlin, DE. Erf.: Beck, Uwe, 14612 Falkensee, DE.