Vorrichtung und Verfahren zur Atomlagenabscheidung

EP 60 2012 016 587.1 - C23C 16/458. AT 31.01.2012; OT 09.08.2012; PT 06.04.2016. Anm.: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO, DA 's-Gravenhage, NL. Erf.: Vermeer, Adrianus Johannes Petrus Maria, NL-2628 VK Delft, NL Wit, Robert Coenraad, NL-2628 VK Delft, NL Gortzen, Roger, M.W., NL-2628 VK Delft, NL