Dünnschichtverarbeitungsgerät und Verarbeitungsverfahren dafür

EP 60 2011 026 122.3 - C23C 16/455. AT 06.12.2011; OT 20.03.2013; PT 04.05.2016. Anm.: Kern Energy Enterprise Co., Ltd, Taipei City, TW; Toshiaki, Yoshimura, Iruma-shi, Saitama, JP. Erf.: Yoshimura, Toshiaki, Iruma-shi, Saitama, JP Hsiao, Ying-Shih, 110 Taipei City, TW