Verwendung einer diamantbeschichteten Lager- oder Dichtungsstruktur

WP 60 2006 033 688.8 – C23C 16/27. AT 01.03.2006; OT 27.12.2007; PT 19.12.2012. Anm.: Ebara Corp., Tokio/Tokyo, JP. Erf.: Nagasaka, Hiroshi, Ohta-ku, Tokyo, 144-8510, JP, Ogawa, Toshiyuki, Ohta-ku, Tokyo, 1448510, JP, Sugiyama, Kenichi, 4-chome, Fujisawa-shi, Kanagawa, 251-8502, JP.