Stromlose Verkupferungslösung
EP 60 2013 004 065.6 - C23C 18/40. AT 27.03.2013; OT 01.10.2014; PT 09.12.2015. Anm.: Atotech Deutschland GmbH, 10553 Berlin, DE. Erf.: Brüning, Frank, Dr., 10437 Berlin, DE Beck, Birgit, 13503 Berlin, DE Etzkorn, Johannes, Dr., 12277 Berlin, DE Merschky, Michael, Dr., 10969 Berlin, DE Lowinski, Christian, 16547 Birkenwerder, DE Schulze, Jörg, 16515 Oranienburg, DE Langhammer, Elisa, 13187 Berlin, DE