Verfahren zur Verdampfung oder Sublimation von Beschichtungsmaterialien

WP 50 2006 012 606.0 – C23C 14/24. AT 22.03.2006; OT 21.02.2008; PT 13.03.2013. Anm.: CreaPhys GmbH, 01139 Dresden, DE. Erf.: Drechsel, Jens, 01768 Reinhardtsgrimma, DE, Fröb, Hartmut, 01768 Reinhardtsgrimma, DE.