Substratverarbeitungssystem, dessen Verwendung sowie Verfahren zur Bearbeitung eines Substrates

PS 100 80 124.2 – C23C 16/00. AT 10.01.2000; OT 27.07.2000; PT 08.11.2012. Anm.: Intevac, Inc., Santa Clara, US. Erf.: Terry Bluck, Santa Clara, US, James H. Rogers, Milpitas, US, Jun Xie, Sunnyvale, US.