Herstellungsverfahren von Dünnschichten aus nanoporösen dielektrischen Materialien

EP 60 2008 014 231.0 – C23C 16/30. AT 11.07.2008; OT 28.01.2009; PT 21.03.2012. Anm.: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives, Paris, FR. Erf.: Jousseaume, Vincent, 38700, Le Sappey-en-Chartreuse, FR.