Verfahren und Vorrichtung zum Abscheiden einer von Prozessgas stammenden Materialschicht auf einer Substratscheibe

PS 10 2011 007 632.8 – C23C 16/458. AT 18.04.2011; OT 16.02.2012; PT 16.02.2012. Anm.: Siltronic AG, 81737 München, DE. Erf.: Georg Brenninger, 84564 Oberbergkirchen, DE, Alois Aigner, 84533 Marktl, DE, Christian Hager, 84556 Kastl, DE.