Vorrichtung zur plasmagestützten chemischen Oberflächenbehandlung von Substraten im Vakuum

EP 50 2007 009 346.7 – C23C 16/509. AT 28.04.2007; OT 14.11.2007; PT 29.02.2012. Anm.: Forschungs- und Applikationslabor Plasmatechnik GmbH Dresden, 01217 Dresden, DE. Erf.: Steinke, Olaff, Dr., 01454 Liegau-Augustusbad, DE, Schade, Klaus, Prof., 01468 Moritzburg, DE, Stahr, Frank, Dr., 01477 Arnsdorf, DE, Stephan, Ulf, Dr., 01309 Dresden, DE.

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