Verfahren zur Abscheidung von Schichten auf einem Substrat
PS 10 2008 033 938.5 – C23C 16/453. AT 18.07.2008; OT 28.01.2010; PT 19.04.2012. Anm.: Innovent e.V., 07745 Jena, DE. Erf.: Andreas Pfuch, 99510 Apolda, DE, Tim Schubert, 95448 Bayreuth, DE, Arnd Schimanski, 44329 Dortmund, DE, Bernd Grünler, 07937 Zeulenroda, DE.