Verfahren zur Erzeugung einer harten Oberfläche im Nanometerbereich

EP 60 2008 016 293.1 – C23C 14/02. AT 17.09.2008; OT 08.04.2009; PT 13.06.2012. Anm.: Commissariat à l'energie atomique et aux energies alternatives, Paris, FR. Erf.: Sanchette, Frédéric, 38620 Montferrat, FR, Ducros, Cédric, 38690 Bevenais, FR, Sanzone, Vincent, 38530 Chapareillan, FR.

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