Vorrichtung zur Ausbildung von dünnem Film

WP 60 2004 043 191.5 – C23C 14/34. AT 31.05.2004; OT 18.05.2006; PT 28.08.2013. Anm.: Shincron Co. Ltd., Yokohama-shi, JP. Erf.: Song, Yizhou, Saitama 332-0011, JP, Murata, Takanori, Yokohama-shi Kanagawa 2300011, JP, Sakurai, Takeshi, Yokohama-shi Kanagawa 2230052, JP.