Verfahren und Vorrichtung zur Verdampfung und Zufuhr von Lösungsvorläufern für die Atomlagenabscheidung

WP 60 2007 046 046.8 - C23C 16/448. AT 06.07.2007; OT 31.01.2008; PT 27.04.2016. Anm.: Linde LLC, Murray Hill, N.J., US. Erf.: Wang, Qing, Min, North Andover, MA 01845, US Helly, Patrick, J., Valley Center, CA 92082, US Ma, Ce, San Diego, CA 92130, US

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