Schichtsystem zur Bildung einer Oberflächenschicht auf einer Oberfläche eines Substrats, sowie Lichtbogenverdampfungsquelle zur Herstellung eines Schichtsystems

EP 50 2008 009 325.7 – C23C 14/32. AT 30.05.2008; OT 12.02.2009; PT 27.02.2013. Anm.: Sulzer Metaplas GmbH, 51427 Bergisch Gladbach, DE. Erf.: Vetter, Dr., Jörg, 51469 Bergisch Gladbach, DE.