Gitter mit Drahtschichten für chemisch-mechanisches Polieren

EP 60 2008 038 575.2 - B24B 37/04. AT 14.08.2008; OT 18.02.2009; PT 17.06.2015. Anm.: Rohm and Haas Electronic Materials CMP Holdings, Inc., Newark, Del., US. Erf.: Muldowney, Gregory P., Earleville, MD 21919, US.