Vorrichtung zur gleichzeitigen planen Bearbeitung von mehreren Substraten

PS 10 2013 103 987.1 – B24B 37/04. AT 19.04.2013; OT 06.11.2014; PT 26.03.2015. Anm.: Beier, Uwe, 01458 Ottendorf-Okrilla, DE. Erf.: Ist Anmelder.