Vorrichtung zur Stromversorgung eines CVD-Prozesses bei der Siliziumabscheidung

GM 21 2009 000 165.1 – C23C 16/44. AT 01.09.2009; ET 10.02.2012; PT 05.04.2012. Anm.: AEG Power Solutions GmbH, 59581 Warstein, DE.